概要
　　板ばね機構による高倍率の変位縮小機構は，線形性のよい微小変位を得ることができ，再現性が得られることから，様々な場所で応用されています． 一つの応用として，てこを用いた高倍率の変位縮小機構によりナノメートルオーダの変位を発生させ，微小変位の基準とする研究も行なわれています． しかし，縮小倍率が高くなると，支点に掛かる力が大きくなり，支点の変形が問題となります． そこで，本研究では，ねじり板ばね機構を用いた変位縮小機構を作成し，1/1000以上の変位縮小機構の実現を目的としています． このため，支点に応力集中を生じない，ねじり板ばね機構（板ばねねじりヒンジ）を作製し，5 nm以下のさまざまな波形を生成することを試みました．